オムロンのMEMSセンサ技術
　佐々木　昌　オムロン株式会社 コアテクノロジーセンター 技術専門職

　オムロンは既存の金属メカニカル圧力センサの長寿命、高精度量産性向
上を狙って1990年代にMEMSセンサの開発をスタートしました。以来、都市
ガス・LPガスメータのガス漏れ遮断用微圧センサ、病院から家庭に普及を
果たした血圧計用圧力センサ、微小流量を検出できる熱式フローセンサ、
携帯電話・デジタルカメラなどへの展開が進んでいるマイクロフォン、
人体の発する熱を遠隔で検出する赤外線センサをMEMS商品として提供しています。
　本講演では各センサのMEMS技術とロボット応用の可能性に関して述べます。

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