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 1.MEMSとは:産業のマメ
 MEMSは、Micro Electro Mechanical Systemsの略で、半導体製造技術やレーザー加工技術等、各種の微細加工技術を応用し、微小な電気要素と機械要素を一つの基板上に組み込んだセンサ、アクチュエータ等のデバイス/システムのことを指します。

 MEMSは各種の最終製品に組み込まれ高付加価値化のキーデバイスとなっており、最近では産業のマメと言われています(半導体は産業のコメと言われています)。

 開発・製品例としては、スマートフォン等モバイル機器に用いられるモーションセンサ、自動車用部品などに用いられる圧力センサ、加速度センサ、光通信分野などで用いられる光スイッチ用ミラーデバイス、原子間力顕微鏡に用いられるカンチレバー、またさらには無線通信機器などに用いられるRF(Radio Frequency:高周波)MEMSスイッチなどがあります。

 MEMSが産業のマメと称されるのは、体は小さいもののMEMSを組み込んだ製品に素晴らしい効用・機能を与える活力源となっていることに由来します。また、多くの種類のMEMSデバイスがあること、MEMSの応用製品が多岐にわたることもマメに類似しています。(マメには大豆、小豆、落花生、グリーンピースなどの多くの仲間があり、豆製品も納豆、味噌、豆腐、豆乳、あずき餡など多岐にわたる。) 

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