1.2 特長(1) | 1.3 特長(2) | 1.4 開発の歩み
 
 
 1.MEMSとは:特長2
  MEMSには「微小化」「並列化」「集積化」といった特長もあります。MEMSはデバイスの微小化が可能ですので、狭いケースに収まったり、狭い場所で稼働することもでき、携帯機器や複雑な装置内部の保守検査機械などに適しています。

 また、同じセンサやアクチュエータなどの要素をたくさん並べ協働させることで、ひとつの要素では得られない高機能・高性能を引き出すこともできます。

 さらには、センサ、電子回路、アクチュエータなどの異なった部品を集積化することができ、賢いデバイスとなります。

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