1.3 特長(2) | 1.4 開発の歩み | 2.1 ふたつの作り方
 
 
 1.4 MEMSとは:開発の歩み
 MEMS開発の歩みを概観すると、1960年代に芽生えたマイクロマシン概念*1)に始まり、国際学会Transducers’87を契機として「驚きの時代」(1987~1994)に移行しました。

 この時代には、例えばAT&Tベル研究所(当時)の3連マイクロ歯車や、カルフォルニア大学バークレー校(UCB)のY.C.Taiらが作った静電気モーター、UCLAのM.C.Wuらが作ったシリコンチップ上の空間光学系など画期的な発表が数多くされており、夢のような期待が語られた時代です。このような動きに呼応して、日本では1991年にマイクロマシン技術プロジェクト(1991~2000)がスタートし、1992年には財団法人マイクロマシンセンターが設立されました。

 1995年頃からは私たちの身の回りでもMEMS応用製品が使われ始め、「働きの時代」に入りました。この頃のMEMS応用製品の代表例としては、アナログデバイセズ社のトランジスタ回路集積型の加速度センサやテキサスインスツルメンツ社のディスプレイ用デジタルミラーデバイスなどがあります。

 「働きの時代」と言われて以降、わが国ではMEMS開発を促進するため、 MEMSプロジェクト(2003~2005)、MEMS-ONEプロジェクト(2004~2006)、ファインMEMSプロジェクト(2006~2008)、BEANSプロジェクト(2008~2012)、グリーンセンサ・ネットワークシステム技術開発プロジェクト(2011~2014)など次々とMEMS関連の国/NEDOプロジェクトが立ち上がり、MEMS産業の発展に寄与しています。

 *1)今日の情報化社会やコンピューターのもつ可能性をいち早く予見した渡辺茂氏(元東京都立科学技術大学学長)は1962年に著した「機構学講義」のなかで究極のマイクロマシンと言える増殖機械の夢について触れている(「超技術 マイクロマシン」東京大学マイクロマシン研究共同体著より)。

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