2.3 3次元構造のつくりかた | 3.1 フィジカルMEMS | 3.2 光MEMS
 
 
 3. MEMSデバイスと応用 フィジカルMEMS:センサ
【圧力センサ】 MEMSの中でも圧力センサは研究開発の歴史が最も古く、実用化の進んでいるセンサと言えます。受圧部のシリコンダイヤフラムが圧力を受けたときの応力・変位を電気信号に変換し圧力を計測するもので、ピエゾ式、静電容量式と振動式に分類されます。
 ここでは最も一般的に利用されているピエゾ抵抗式の例としてアズビル(株)の圧力センサの断面模式図を示します。ピエゾ抵抗式圧力センサはシリコンダイヤフラム表面に作り込まれた抵抗体のピエゾ抵抗効果による変化を利用し圧力を計測します。このような圧力センサは自動車エンジンなどの圧力測定、血圧計、気圧計、ガス圧計などに広く普及しています。

【加速度センサ】 加速度センサはセンサ内に大きな「おもり」を梁などで支えた構造を持ち、加速度によって「おもり」に発生する慣性力が支持構造を変形させ、その変形を様々な方式で検出します。検出方式は静電容量型、ピエゾ抵抗型、圧電型などに分類されますが、支持構造と検出素子の配置によって検出できる加速度の方向が決まります。   例として三菱電機(株)の静電容量式加速度センサ、およびパナソニック(株)のピエゾ抵抗型加速度センサを示します。加速度センサは自動車エアバックの衝撃検知、携帯電話、ハードディスク落下検知やアミューズメント分野などに応用展開がされています。

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