3.1 フィジカルMEMS | 3.2 光MEMS | 3.3 RF-MEMS
  
 
 3. MEMSデバイスと応用 光MEMS:アクチュエータ
【DMD(デジタルミラーデバイス) 】
 米国テキサスインスツルメンツ社より製品化されたディスプレイ用のDMDはMEMS開発の初期より研究がなされ、最も成功したMEMSのひとつと言われています。構造としては、ディスプレイ画像の画素に相当する部分がマイクロミラーから構成され、各ミラーの大きさは十数ミクロン角程度ときわめて小さいミラーからなっています。ディスプレイ画素の明るさはミラー反射光量を制御して調節し、各ミラーの傾きはミラー部分の下に配置されたトランジスタのメモリ素子による静電引力により制御されてます。現在ではプレゼンテーション用の小型プロジェクタだけでなく、背面投影型TVや大画面ビデオシアターなどに広く使われています。

【光スイッチ】
 光スイッチは光通信網の中継点において光信号の経路を光のまま切り替える素子として期待されています(電子式では信号の高速化、光電変換のコストと煩雑さの問題を抱えていました)。光スイッチ方式は、扱う光信号の規模などにより2次元型と3次元型が選択されますが、いずれも従来の光電変換方式に比べて省スペース、省エネルギーなどの特長があります。3次元型としてLucent社、オリンパス(株)など、また2次元型としてヌシャテル大学などから発表がされています。

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