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 3. MEMSデバイスと応用 RF-MEMS:アクチュエータ
【RF-MEMSスイッチ】
 RF-MEMSスイッチは優れた高周波特性から、高速無線通信機器などへの搭載が期待されており、容量型(Capacitive type)と接触型(Ohmic type)の2種類があります。接触型に分類されているオムロン(株)のRF-MEMSスイッチは、可動する金属切片(可動電極)を媒介して、 2本の信号線を流れる信号のON/OFF切替えを行うことで、DCからGHz領域までの絶縁性や挿入損失など優れた周波数特性が得られるという大きな特長があります。

【共振器(レゾネータ)】
 高周波無線機器などでは特定の周波数のみを通す機能をもつフィルタの帯域設定に共振器が必要となります。米国SiTimes社が開発したMEMS共振器は、シリコン基板内に共振するシリコン製の梁を埋め込み、信号処理回路を集積化することで小型、低消費電力などの特長を有しています。

 これらのRF-MEMS部品は小型、高性能、低消費電力などの特長から第4世代携帯電話向け多周波対応デバイスなどに展開が期待されています。

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