3.3 RF-MEMS | 3.4 マイクロTAS | 4.1 世界のMEMS市場
  

 
 

 3. MEMSデバイスと応用
   μTAS (Micro Total Analysys System):センサとアクチュエータの集積化

 ポンプやバルブ、混合器(ミキサ・リアクタ)や分離器などが集積されたμTAS( Micro Total Analysys System )は、ひとつのチップ上で化学分析、化学反応、化学合成などを行うことができますので、分析システムの小型高速化、ならびに省薬品、省スペースを可能にする技術として研究開発が盛んに行われています。

【マイクロポンプ】
 液体を送り込むマイクロポンプとして、2つの逆止弁とアクチュエータで駆動する可変圧力室からなるダイヤフラム型のものが報告されています。ダイヤフラム型のものではポンプ吐出圧力が大きく、気泡の影響を受けにくいなどの特長があります。

【マイクロミキサ】
 マイクロ領域で液体を混合させるマイクロミキサの場合、液の接する界面の面積をなるべく大きくし、かつ両層の厚さを薄くすることが効果的ですが、MEMS加工技術を用いることで流路構造をより細く、深くするなどの工夫で高い混合効率が得られています。

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