4.5日本の主要MEMS企業 | 4.6世界の研究開発動向 | 5.1MEMS産業技術ロードマップ
  
 
 4. 国内外動向:研究開発動向
 マイクロマシンセンターの国内外技術動向調査報告書では、主要国際学会の技術分野別研究論文の件数比較などを行い、研究開発動向をまとめています。
 
 ○発表が多い分野は非シリコン製造技術(Fabrication Technologies(non-Silicon))で、マイクロ流路(Fluidec) 、メカニカルセンサに関する発表が続いています。
 ○もっとも発表が多く研究開発が盛んなのは米国で、次いで多いのは我が国です。近年は中国発表が急増しています

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