5.1 MEMS技術とアプリケーション | 5.2 ロボットとMEMS | 5.3 スマホとMEMS
  
 
 5.産業化とMEMSの活用場面:ロボットの機能や安全にはMEMSセンサが必須
 ロボットやドローンに使われるセンサもまた、人間の五感並みに進化しています。例えば加速度やジャイロのMEMSセンサを用いて、ロボットの位置や姿勢を検出したり、暗闇の中にある障害物などを検知するために、MEMS技術を用いて作製された非接触の赤外線センサなどが使われております。生き物の感覚を模しながら、はるかに超えた性能を実現することが現在のMEMSセンサ開発が目指していることであり、ロボットに組み込む知覚・識別・認識機能の進化の方向です。

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