MEMS回路シミュレータMEMSpiceによる振動型デバイスの解析
　水田 千益　株式会社数理システム 科学技術部 部長 常務取締役

　今、MEMSは産業としての飛躍が大きく期待され、また、MEMSの構造その
ものもMEMS on CMOSの言葉に象徴されるように、機構と回路がますます
不可分に一体化されつつあります。このような状況を考えると、MEMS設計の
早い段階での、機構と回路を統合したシステムとしての、動作解析・検証が
重要となってきています。MEMS機構・回路統合シミュレータ-MEMSpice-は、
そのような設計者の要求を満たすべく作成されました。本シミュレータは、
複雑なMEMS機構を、部品を組み立てることで簡単に生成できるGUIを持ち、
電子回路と結合させて、システムの動作を精度よく検証することができます。
　本講演では、MEMSpiceの動作原理を説明するとともに、振動型デバイス等
いくつかの解析事例を紹介します。

＊＊プログラムには、←で戻ってください＊＊