MEMSの集積･融合の進展と新産業創出への期待
　杉山進　立命館大学 ナノマシンシステム技術研究センター長 教授

　MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)は、IC (集積回路)製造技術を
応用し、さらに機能を拡張し、ミリメートル寸法のシリコンチップ上にセンサ、
アクチュエータおよび制御用処理回路を集積したマイクロシステムであり、
新産業創出に大いに期待されている。本稿では、MEMS技術の発展、MEMSの
産業化、MEMSの応用として、センサ、アクチュエータ、RF-MEMS、パワーMEMS、
分析MEMS、ポリマーMEMS、MEMSと通信機能の融合に関する研究例を紹介し、
MEMS製造技術の進展について現状および将来の展望を述べます。


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