| 目 次 |
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| 序 |
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| 第１章 緒言 |
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| １．１ はじめに |
1 |
| １．２ 委員会構成 |
2 |
| １．３ 調査方法 |
2 |
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| 第２章 MEMSアプリケーション動向 |
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| ２．１ MEMSアプリケーション（MEMS-Inside) |
4 |
| ２．２ 産業分野別MEMSアプリケーションの動向 |
6 |
| （１）情報通信機器分野 |
6 |
| （２）民生用電子・電気機器分野 |
15 |
| （３）アミューズメント分野 |
22 |
| （４）精密機器関連分野 |
26 |
| （５）製造技術関連分野 |
30 |
| （６）自動車機器関連分野 |
36 |
| （７）医療・福祉分野 |
41 |
| （８）バイオテクノロジー分野 |
54 |
| （９）航空・宇宙機器分野 |
57 |
| （１０）エネルギー関連分野 |
64 |
| （１１）環境関連分野 |
66 |
| （１２）都市環境整備関連分野 |
69 |
| （１３）農林水産関連分野 |
71 |
| （１４）サービスロボット |
73 |
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| 第３章 MEMS関連企業動向 |
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| ３．１ MEMS関連企業の概要 |
82 |
| ３．２ MEMS・マイクロマシン関連特許からみたMEMS関連企業の状況 |
84 |
| （１）全体の傾向 |
84 |
| （２）日本企業の傾向 |
90 |
| ３．３ MEMSデバイス企業 |
95 |
| （１）我が国のMEMSデバイスメーカの概要 |
95 |
| （２）取り組んでいるMEMSデバイスの現状 |
98 |
| ３．４ MEMSファンドリー |
103 |
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71 |
| 第４章 日本のMEMS産業拡大の課題 |
73 |
| ４．１ MEMS市場の機会 |
109 |
| ４．２ 日本のMEMS産業の現状 |
111 |
| ４．３ MEMSデバイスの成功例 |
114 |
| ４．４ 日本のMEMS産業拡大の課題 |
116 |
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| 付属資料 |
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| １ 2009年度調査対象企業について |
119 |
| ２ 特許関係調査の方法 |
126 |
| ３ 特許出願企業の業種分類 |
135 |
| ４ 電気機器企業の事業内容別分類 |
136 |
| ５ MEMSデバイスに取り組んでいる企業 |
137 |
| ６ ファンドリーサービス企業一覧 |
138 |
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