【定 義】 圧電材料を利用したアクチュエータ。
【解 説】 圧電アクチュエータは、単板形、バイモルフ形および積層形に分類され、圧電材料としてはチタン酸ジルコン酸鉛が一般的に用いられる。 その特徴は、 1)応答速度が速い、 2)単位寸法当たりの発生力が大きい、 3)構造が簡素で小型化が容易、 4)変位レンジが小さく微小変位コントロールが容易、 5)エネルギー変換効率が高い、等である。 超音波モータ、微小変位ステージ、圧電ファン、圧電ポンプ、圧電スピーカ等に用いられている。 開発例として、圧電バイモルフの共振振動を利用して移動を行う移動機構用圧電アクチュエータや、積層形圧電素子の変位をてこで拡大する微小位置決め用圧電アクチュエータ等がある。
【参考資料】 (2)(4)(5)(6)(8)(14)(15)