厚膜技術 【あつまくぎじゅつ:Thick film technology】 0601012-207

【定 義】 基板上に厚膜を形成する技術。

【解 説】 厚膜とは、インク状ペーストなどを塗布、スプレー印刷などで塗り、焼きつける方法で作製した、およそ5μm以上の膜を指す。 圧電素子や磁性膜等アクチュエータとして使用される厚膜の作製が試みられている。

【参考資料】 (7)(17)

【関連用語】 薄膜技術