【定　義】
（デバイス）構成部品の寸法が数 mm以下の機能要素，及びそれらから構成される微小なデバイス
（システム）マイクロマシンデバイスから構成される微小なシステム。

【解　説】
（デバイス）マイクロマシンテクノロジを駆使して製作される機能デバイス（センサなど）が含まれる。
（システム）ナノマシンと呼ばれる分子マシンも含まれる。　

【参考資料】

【関連用語】 マイクロマシン技術