【定 義】 X線（シンクロトロン放射光）リソグラフィによる深いリソグラフィと電鋳を組合せ、形として用いることのできる微細構造を製作するプロセス。
【解 説】 LIGAはLithographie Galvanoformung und Abformungの頭字語で、リソグラフィ、電鋳、モールデイングを意味するドイツ語の頭文字をとって名付けられた。特徴として、線幅１～１０μｍ、高さ数１００μｍ程度の高アスペクト比の微細構造体が、一括して大量に生産でき、また、プラスチック、金属、セラミックスといった多様な材料を選択できることやシリコン半導体素子などと組み合わせることが可能といったことが挙げられる。
【参考資料】 (1)(2)(3)(8)