【定 義】 静電力を利用したモータ。
【解 説】 マイクロマシンが注目を浴びるようになったのは、シリコン基板上に直径100μmの静電モータが製作されてからである。 その後、静電モータは構造が簡単で小型化するほど重量当たりの出力向上が期待できることから、回転力を発生するマイクロマシン用のアクチュエータとして多くの研究がなされている。 試作例としては、シリコン基板上にエッチング等の半導体製造技術を用いて形成した可変容量モータ、誘導型静電マイクロモータ、ワブルモータ等がある。 これらのアクチュエータは、回転運動に伴う摩擦を軽減することが必要である。
【参考資料】 (2)(4)