【定　義】　圧力センサや力センサを高集積化して触覚の役割を果たすデバイス。

【解　説】　マイクロマシニングを利用した触覚センサとして、ピエゾ抵抗効果や静電容量の変化を利用したセンサが実現されている。 現在の素子サイズは数10μm程度であるが、さらに高密度化、小型化が図られている。 触覚のセンサ内における圧力や力の検出方式として、抵抗、静電容量、電圧、磁気、光等への変換を利用した、いろいろの原理によるものが研究されている。

【参考資料】 (2)(8)

【関連用語】 圧力センサ