走査ミラー 【そうさみらー:Scanning mirror】 0399212-182

【定 義】 光を走査するための鏡。

【解 説】 走査ミラーは、レーザープリンタのヘッド部や光応用センサの走査部、光ディスク用ヘッドやディスプレー等に用いられている。 マイクロマシニング技術により、ミラーと駆動部を一体化、配列化した走査ミラーアレーも製作できる。 マイクロマシンの具体的応用として期待されている分野の一つである。

【参考資料】 (2)

【関連用語】 半導体レーザマイクロ機械加工