【定　義】　柔軟な膜を用いた隔壁構造。　

【解　説】　マイクロ領域では、材料として主に単結晶シリコン、ポリシリコン等が用いられ微細加工プロセスにおける異方性エッチングにより作製される。 また、ダイアフラムの厚みは、数μｍから数十μｍまで用途に応じて変えることができる。 この構造は、圧力変化を検出したり、変位を発生させるのに用いられる。 応用としては、自動車エンジン等の圧力センサの感圧部分に使用される。 さらに、マイクロバルブ、マイクロポンプにおいては、圧力を変化させる膜として利用される。

【参考資料】 (3)(16)

【関連用語】 マイクロバルブ､ マイクロポンプ､ 圧力センサ