【定　義】　電子ビームを用いた加工技術。

【解　説】　電子ビーム加工は、電子ビームを加工物表面にあて、溶融あるいは除去させる熱加工技術である。 電子は十分に小さいため固体表面から内部に入り込み、運動エネルギーが内部で熱に変換され、加工物表面の局部を溶融あるいは蒸発させる。 「熱」を利用した加工では加工範囲をサブμｍにまで絞ることは難しいが、例えばフォトレジスト中の電子との反応を利用した加工によれば非常に高い分解能を得ることができる。 具体的な加工応用例としては、数μｍまで収束したビームを利用した微小穿孔加工、電子ビームの特徴である深部貫入性を利用して、熱変形の極めて小さい溶接加工等がある。

【参考資料】 (9)

【関連用語】 電子ビームリソグラフィ､ イオンビーム加工