【定　義】　超臨界流体を用いた乾燥方法。（JIS/2016)

【解　説】　超臨界流体は高い拡散性又は溶解性をもち，表面張力も働かない。これらの特徴を利用し，従来の乾燥方法では大きな変形又は構造破壊を伴っていた繊細な物質でも，構造を保ったまま乾燥させることができる。超臨界流体には二酸化炭素が多く使用されている。これは超臨界二酸化炭素が高い溶解性をもち，臨界点以下にすると気化して飛散するため，乾燥試料だけを取り出すことが可能だからである。MEMSの製造においては，試料のスティクションを避けるための乾燥に利用されている。（JIS/2016)