【定　義】　不純物を試料内に拡散させ、材料の改質をおこなう技術。

【解　説】　半導体製造工程では、抵抗体やダイオードを同一基板上に製作するために局所的に電気的性質の異なる部分を製作する必要がある。 シリコンウエハではＰ（リン）などをイオン注入等の方法で拡散する。

【参考資料】 (6)

【関連用語】 イオン注入