本研究開発（Gデバイス@BEANS）においては、BEANS成果の継続的な社会への還元を目指し、特に国民の喫緊のニーズに対応するグリーンイノベーションに焦点を当て、さらに、世界的なオープンイノベーション拠点形成の動きに対処していくことを目指しました。
具体的には、低炭素社会づくりに貢献する高機能MEMSセンサおよびそれを活かしたネットワークシステムの構築と、革新的次世代デバイスの実用化における低環境負荷型製造プロセス技術を確立することが急務であるとの認識の下、以下のような研究開発を実施しました。
| １）高機能センサネットシステム開発 |
| |
大口径MEMS用クリーンルームにおける各製造・評価装置や空調、純水製造等の周辺装置の消費エネルギー、温度、圧力、風量、異物粒子、ガスなどをセンシングし、省資源、高効率に最も適した集積化センサチップ及びセンサネットワークシステムを検証するとともに、省エネルギー、低炭素化などに関する効果を分析するための、センサネットワークシステムを試作する。 |
| 2)
低環境負荷型プロセス技術開発 |
|
シリコン貫通深掘り加工、様々な異種デバイスをウェハレベルで一括集積化する技術、及び多品種少量生産における製造歩留り向上、性能ばらつき低減を目指したMEMS三次元設計・計測情報の共有化技術などを開発する。 |
また、研究に必要な設備として産総研集積マイクロシステム研究センター の大口径MEMS用クリーンルームの中に先端的な８インチMEMS製造ラインを導入し、量産試作検証が可能なプロセスのグリーン化と製造施設のグリーン化を追求した低環境負荷型MEMSラインの構築しました。
なお、Gデバイス@BEANS に係る予算措置は2009年度の補正予算に基づくものであるため、実施期間は2009-2010年の2年間（実質1年）でした。
|
|
|
|
