このような状況に鑑み、平成20年度に財団法人マイクロマシンセンター がMETIから 「異分野融合型次世代デバイス製造技術開発プロジェクト(BEANSプロジェクト)」 を受託し、5年間の研究開発を推進することとなりました。その後、本プロジェクトの委託元がNEDOに移ったことを踏まえ、より円滑かつ効果的なプロジェクト推進を期すべく、平成21年4月以降は技術研究組合BEANS研究所がプロジェクト業務を承継することになりました。