◆ファインＭＥＭＳプロジェクト中間成果発表会 　　　　主催：独立行政法人新エネルギー・産業技術総合開発機構／（財）マイクロマシンセンター

ＭＥＭＳ産業の発展を支える基盤技術として、平成18年度から3年間の予定で実施中のNEDOプロジェクト「高集積・複合MEMS製造技術開発プロジェクト」（ファインＭＥＭＳ：微小三次元化構造加工の高度化と、ナノ部材・異種材料の活用による機能の複合化・集積化を図るための製造基盤技術を開発）の中間成果を紹介する。