MEMSは主に半導体微細加工（一括加工）技術を用いて作りますので超小型で、非常に高精度・高品質な機構部品が得られるという特長があります。また、ひとつの部品を作るのと同じ手間と時間で沢山の構造を同時に作りこむことができ大量生産による低コスト化も可能となります。

　また、MEMSは一つの基板にセンサや信号回路、アクチュエータなどが搭載された３次元の構造体であり、入出力が電気信号以外にエネルギーや機械変位、物理量など、多岐多様に亘ることも大きな特長と言えます。