MEMSには「微小化」、「並列化」、「集積化」といった特長もあります。MEMSはデバイスの微小化が可能ですので、狭いケースに収まったり、狭い場所で稼働することもでき、携帯機器や複雑な装置内部の保守検査機械などに適しています。

　また、同じセンサやアクチュエータなどの要素をたくさん並べ協働させることで、ひとつの要素では得られない高機能・高性能を引き出すこともできます。

　さらには、センサ、電子回路、アクチュエータなどの異なった部品を集積化することができ、賢いデバイスとなります。