４.　国内外の市場と研究開発：日本の主要ＭＥＭＳ企業 　　　わが国でも様々な企業がMEMS市場で活躍しています。  各種センサー パナソニック、村田製作所、オムロン、横河電機、 デンソー、三菱電機、フジクラ、富士電機、TDK  電子コンパス 旭化成エレクトロニクス、ヤマハ、愛知製鋼、アルプス電気  インクジェットヘッド セイコーエプソン、キヤノン  RF-MEMS オムロン、東芝、三菱電機、富士通  マイクロフォン オムロン、ソニー、TDK  光学MEMS オリンパス、セイコーインスツル、ソニー  製造装置 SPPテクノロジーズ、アルバック

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