多機能MEMSが開拓したアプリケーションの例はスマートフォンです。小型、高機能、低価格なMEMSデバイス無しではスマートフォンは存在し得ないと言えます。位置を検出するモーションセンサは圧力センサ(大気圧)が加わり、建物の何階にいるかをナビゲーションするようになります。騒音対策として複数のマイクが搭載され、プロジェクタ内蔵スマホも姿を現しつつあります。