●『利用者の声』 No06 (2011.06.20)
[平成２１年度]：
研究版の無償貸出ユーザーからアンケートで寄せられた感想を紹介します。 |
①デバイス構造作成に関して
・マスクデータやプロセスエミュレータを使わずに直接モデル作成が出来る点が良い。
・座標入力での基本形状形成やブーリアン演算等は分かり易くて良い。
②自動格子作成に関して
・薄膜モデルの六面体メッシュに対して、面方向の分割数を変えずに層の厚さ方向の
分割が指定できる点が良い。
・シェルメッシュやシェル掃引メッシュ作成ができる点も良い。
③解析条件設定に関して
・荷重条件設定、拘束条件設定は分かり易い。
④解析結果表示に関して
・表示機能は概ね満足である。
⑤力学解析に関して
・操作が簡単で使い易い点が良い。
⑥圧電解析に関して
・満足ではあるが、圧電定数の入力が多少分かりにくい。
⑦プロセス逆問題解析に関して
・これまで考えたことのない解法があることを知った。
・ANSYSでは見られない機能で、マスクを作成することで、構造が検証できる点が
興味深い。
⑧MEMS回路シミュレータに関して
・静電容量型センサ等の大まかな特性を把握するには十分な機能だと思う。
・櫛歯部の粘性を直接入力できる点が良い。
⑨材料・プロセスＤＢに関して
・これまで知らなかった多くの情報が入手できた。
・材料データの選定が容易であった。
⑩システム全般に関して
・国産ソフトのためGUIメニューが使い易く、ただ日本語表記だけでなく直観的に理
解し易い。
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