●『利用者の声』 No07 (2011.06.20)
[平成２２年度]：
研究版の無償貸出ユーザーからアンケートで寄せられた感想を紹介します。 |
①システム全体に関して
・全体を通して操作性が良く、シミュレーション結果と実験結果が概ね一致し、簡便
に利用する解析ソフトとして満足できた。
・機構解析に関しては充実しており、様々な解析条件設定を変化させることができた。
②デバイス構造作成・自動格子作成に関して
・初めてこの種のソフトウェアを使用したが、特に問題なく使えた。簡単な操作で構
造体やメッシュを作成できる点が良い。
③解析結果表示に関して
・解析結果表示後に条件の設定変更が容易なため、解析結果の違いが実感し易かった。
④プロセスレシピ作成に関して
・製作した構造体のレシピを再度利用する際に、条件の設定変更が容易だった。
⑤力学解析に関して
・構造体の製作が容易で、解析結果と実験結果が概ね一致している点が良い。
・操作が簡単で手軽に解析できる点が良い。
⑥電磁界解析に関して
・電界強度の表示以外にも電流勾配の表示機能があり、電流密度の参考になった。
・電圧を印加する材料の電気特性も参考に用いることができた。
⑦MEMS回路シミュレータに関して
・両持ち梁における対向固定面との距離によるダンピング効果およびその圧力依存性
が解析できた。
⑧材料・プロセスＤＢに関して
・データベースは他のシミュレータに比べて充実していると思う。
・材料データベースは材料定数を調べるのに時間が掛かるので、大変役立った。
・解析したい材料データは概ね揃っていた。
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