MMC > MemsONEひろば > 利用者の声メイン > 利用者の声 　●飯塚　哲彦　　『利用者の声』　No01　　(2009.01.20) 　　　　　　　　　 東京大学　生産技術研究所 　　　　　　　　　 マイクロメカトロニクス国際研究センター　藤田研究室　技術職員 　静電アクチュエータの静電駆動力を求めるため、電極近傍の電界解析を行っている。MemsONEでは各材料の物性値がデータベース化されており、容易に取り込んで計算することができる。使い始めたときは、ローカルルールもあり、慣れないと分からないことも多く、質問が必須であった。基礎的なところから始めて、細部の解析手法に至るまでの様々な質問に、丁寧に対応していただき感謝している。計算ができてみると、ＦＥＭ固有のメッシュサイズの違いによる計算結果のばらつきも見られたが、総じて妥当な値のオーダであると考えられる。 　その他の機能については、実習講習を受けて理解が深まった。まず、MemsONEの様々な機能を使いこなせるように習熟し、できることできないことを理解した上で、 実際のＭＥＭＳデバイスの設計や作製における数値的な知見、定量的なイメージを得るための支援ツールとして、活用していきたいと考えている。