MMC > MemsONEひろば > 利用者の声メイン > 利用者の声 　●佐藤　正武　　『利用者の声』　No05　　(2009.09.04) 　　　　　　　　　オムロン株式会社 　　　　　　　　　　セミコンダクタ統括事業部 　　　　　　　　　　マイクロデバイス事業部　開発部　MEMS開発課 　LSI とMEMSの集積化を目的として、MEMSデバイスの変形解析や積層時の応力集中解析を行っています。MemsONEには信用できる材料物性値が最初から入っているため、解析初期の手間が少ないと感じます。 また、既存のマスクを読み込んで構造を作ることが出来るのは、既にMEMS設計に携わっている技術者にとっても大きなメリットでした。デバイス設計初期段階にパラメータを試す際は、様々な機能が統合されているMemsONEは非常に便利です。 　動作速度もおおむね満足しています。当初、断面を取って解析結果を定量的にプロットすることが煩雑に感じましたが、Ver.2になってこの点が改善されて助かっています。 また、Ver.1の頃はメッシュが自動では綺麗に切れず、構造側に小手先修正を加えることもありましたが、Ver.2では改善されたようです。 　一方、既存の大規模マスクデータ取り込みによるモデル形成、境界条件設定の取り回し、ファイル選択GUIの貧弱さなど、今後改善してほしい点もいくつか残っています。 とはいえ、使う上で致命的レベルではないのも確かだと思います。総合的に見て、MemsONEは難より長所の多いMEMS設計に有用なツールと感じます。開発加速のためのツールとして、今後も活用したいと考えています。