マイクロマシンセンターや技術研究組合が作成した専門用語集、デザイン支援ツールをMEMSPedia として、インターネットを通じて公開しています。
マイクロナノ分野の先端研究の遂行等に活用いただければ幸いです。
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マイクロマシン・MEMS技術専門用語集 |
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マイクロマシン・MEMS技術分野における専門用語集で、マイクロマシンセンター標準化事業委員会が1998年に作成したものが基本になっています。その後、この専門用語集をベースに国際規格化を進め、2005年に【IEC62047-1】として発行されました。さらにJIS化にも取り組み、2008年には
【JIS C 5630-1】が発行されました。
JIS発行に併行して、この専門用語集を2008年に改訂しました。現在、本専門用語集はMEMSペディア活動の一環としても位置づけられています。
収録する専門用語の数は258語。 英語版用語集も利用できます。
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MEMS等価回路ジェネレータ |
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ファインMEMSプロジェクトで開発された「MEMS等価回路ジェネレータ」は、MEMSと電気回路の集積化や多種類のＭＥＭＳの組合せによる集積化に関する研究開発が活発化し、製品に関する成功事例も出現する中、システム全体として電気等価回路を用いたアプローチなどの新しい設計手法としてご提案するものです。
MEMSの設計は、構成する機械要素に主眼におき、機械設計の発想から数々の設計ツールが生み出されてきました。欧米主体で開発されたものが多数を占める中、昨年度わが国初のMEMS設計ツール MemsONE もその一つです。MEMSと電気回路や多種のMEMSの組合せなどはその集積度が増すにつれ、この新しい手法は効果を発揮すると考えております。
ご利用いただく際には、まだまだ不十分で改善すべき点があるとのご認識の上、新しい設計手法として挑戦していただければ幸いです。
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