財団法人マイクロマシンセンター＞MEMSフロンティア・未来デバイス（BEANS)技術の提唱

<BODY> <P>財団法人マイクロマシンセンター＞産業化の推進<BR> <BR> 財団法人マイクロマシンセンターは、マイクロマシン・ＭＥＭＳに係る基盤技術の確立を図るべく産学官の力を結集して、これまで国・NEDO主導のマイクロマシン技術研究開発プロジェクト（平成３年～１２年）やＭＥＭＳ用設計・解析支援システム MEMS-ONE 開発プロジェクト（平成１６年～１８年予定）を積極的に推進してきております。同時に、これらの基盤技術の普及を促進し、産業化を支援する諸活動も実施しております。<BR> <BR> 　さらには、近年のバイオ分野、ナノ・材料分野、情報通信分野の著しい技術進歩を踏まえ、今や製造業のキーデバイスとなりつつあるマイクロマシン・ＭＥＭＳに関しても一層の技術革新が求められているため、当センターは今後も技術フロンティアへ挑戦し、次世代マイクロマシン（ファインMEMS、BEANS、ナノマイクロシステム等）の新たな技術基盤の確立を目指してまいります。</P> </BODY>