2006年度から2008年度の3年間に亘り、「高集積・複合MEMS（ファインMEMS）製造技術開発事業」が国/NEDOプロジェクトとして実施されました。 　本プロジェクトは、小型・省電力・高性能・高信頼性の高集積・複合MEMSデバイス（ファインMEMS）を製造できる技術を確立することで、高集積・複合MEMSデバイスの製品化を促進し、2010年にはMEMS関連国内市場1.36兆円確保を目指します。併せて本技術開発を通じて得られた製造技術に関わる知識を集約したデータベースを整備することにより、新たな新規MEMSの産業化を促進し、産業競争力の向上、市場規模の拡大に資することを目標にして実施しました。 　当センターは、本プロジェクトの「知識データベース開発」を受託するとともに、プロジェクト推進連絡会議の開催等を通じて３年間のプロジェクト全体の推進を支援しました。 　具体的なプロジェクトの詳細については、ファインMEMSプロジェクトの軌跡のサイト にてご覧いただけます。

ファインMEMSプロジェクトの軌跡