[ファインMEMSプロジェクト 2006-2008]
研究開発テーマ:MEMS/ナノ機能の複合技術の開発

ナノ材料(CNTなど)の選択的形成技術
(委託事業:独立行政法人産業技術総合研究所)
カーボンナノチューブの持つ優れた機能をMEMSデバイスに応用することを目的に構造制御されたカーボンナノチューブの形成技術、それを所定の領域に選択的に形成する技術および欠陥制御技術を開発する。
 開発者の抱負
 畠 賢治
 ナノカーボン研究センター ナノカーボンチーム長
世の中に存在しなかった、まったく新しいカーボンナノチューブMEMS構造体を創製 、その可能性を開拓する 意気込みです。MEMSの枠を超越するような大きなフレークスルーを目指したいと考えております。