［ファインMEMSプロジェクト 2006-2008］
研究開発テーマ：ＭＥＭＳ／ＭＥＭＳの高集積結合技術の開発

異種材料多層MEMS集積化技術
（助成事業：オリンパス株式会社）
対外環境モニタリングシステムとしてのSPRセンサモジュールと、 体内環境モニタリングシステムとしてのたんぱく質検出カプセル型 センサモジュールの実用化に不可欠な、異種材料を高精度で接合 する技術を開発する。
　開発者の抱負
　清水　悦朗
　MEMS開発本部 プロセス技術部技術第2G グループリーダ
本事業では、バイオMEMS、光MEMS、LSIなどを、基板上高精度3次元実装する技術、異種材料・異種機能基板積層化する技術を開発し、究極的なファインＭＥＭＳの高精度集積化技術を開発します。次世代MEMSと呼ぶにふさわしい機能集積化MEMSを実現したいと思います。