［ファインMEMSプロジェクト 2006-2008］

研究開発テーマ：高集積・複合ＭＥＭＳシステム化設計プラットフォームの開発

高集積・複合ＭＥＭＳシステム化設計プラットフォームの開発

（委託事業：財団法人マイクロマシンセンター）

高集積・複合MEMS製造技術開発の研究開発項目①～③及びその周辺に関わる高集積・複合MEMSに適した設計プラットフォームとしての等価回路モデルに関する情報を整理し、Web閲覧システムとして構築する。さらに、CADモデルと等価回路モデル間の相互生成技術に関して調査を行う。

　開発者の抱負

　橋口　原

　電子工学研究所　教授

本プロジェクトはMEMS設計支援ツールとして、MEMSの等価回路web図書館を構築するものです。ここではMEMSをラグラジアンで表現し、そこから駆動点イミタンスを導出して回路合成をするという統一した手順でモデル化を行っています。単年度プロジェクトのため、シンプルな静電型デバイスと磁気型デバイスのみを対象としますが、エネルギー関数であるラグラジアンを用いれば、流体系、熱系なども含めて一つの関数で表現できますので、将来的にはMEMSモデル化の体系化をしたいと考えています。