[ファインMEMSプロジェクト 2006-2008]
研究開発テーマ:MEMS/ナノ機能の複合技術の開発
選択的ナノ機械構造体形成技術
(委託事業:国立大学法人東京大学)
SPR(表面プラズモン共鳴)を用いた高機能集積環境センサのコア技術として、ナノ構造制御技術、3次元曲面形成、ナノギャップ形成、高精度配置技術を開発する。