Gデバイス@BEANSの研究開発項目は以下のとおり。 また、研究に必要な設備として産総研の大口径MEMS用クリーンルームの中に先端的な８インチMEMS製造ラインを導入しました。
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| 研究開発項目：高機能センサネットシステムと低環境負荷型プロセスの開発 |
| １）高機能センサネットシステム開発 |
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大口径MEMS用クリーンルームにおける各製造・評価装置や空調、純水製造等の周辺装置の消費エネルギー、温度、圧力、風量、異物粒子、ガスなどをセンシングし、省資源、高効率に最も適した集積化センサチップ及びセンサネットワークシステムを検証するとともに、省エネルギー、低炭素化などに関する効果を分析するための、センサネットワークシステムを試作する。 |
| 2) 低環境負荷型プロセス技術開発 |
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シリコン貫通深掘り加工、様々な異種デバイスをウェハレベルで一括集積化する技術、及び多品種少量生産における製造歩留り向上、性能ばらつき低減を目指したMEMS三次元設計・計測情報の共有化技術などを開発する。 |
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| グリーンイノベーションに焦点を当てたBEANSの加速・実証 |
本研究はBEANSプロジェクトの加速・実証として位置づけられ、特に省エネ・低炭素化のためのグリーンイノベーションに焦点を当てた研究開発が行われます。すなわち、グリーンなデバイス（Gデバイス）をグリーンなプロセス（低環境負荷型プロセス）とグリーン・クリーンルーム（センサーネット管理）の下で製造できるようなプラットフォーム作りを目指しました。
また、本事業による研究開発成果の多くの部分は、2011年7月からNMEMS技術研究機構がNEDOとの共同研究方式によって開発に着手することになったグリーンセンサ・ネットワークシステム技術開発プロジェクト（2011～2014年）に継承され、本格的な研究が進むことになります。
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| オープンイノベーション拠点TIA-NMEMSとの連携 |
研究体制としては、BEANS組合の中にGデバイス研究体を設け、つくばの産業技術総合研究所内および立命館大学内に主たる研究拠点を設置しました。また、これらの研究拠点は、オープンイノベーションを目指すつくばナノテク拠点TIA-NMEMSと連携して研究開発を進め、中長期的にはMEMSビジネスの創出を支援する、設計・試作、研究開発、人材育成などを主な機能とする新たな設計試作研究センターの創立を目指すこととしました。
実際には、2011年度に入り、このようなセンターとしてMEMS協議会の下にマイクロナノオープンイノベーションセンター（MNOIC）が設立されました。Gデバイス@BEANSで開発導入された先端的な８インチMEMS製造ラインはMNOICが供するR&Dプラットフォームの中核設備として活用されます。
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