当センターを中心とする産学官の研究コンソーシアムが1991年から10年間、約250億円の予算規模でもって、大きな産業波及効果が期待されるマイクロマシンについての共通基盤技術、機能デバイスの高度化技術、システム化技術を確立するための研究開発プロジェクトを遂行しました。

　マイクロマシンとは、数μｍ～数ｍｍ寸法の部品により構成された微小な機械のことです。本プロジェクトでは、将来いろいろな形でマイクロマシンが実用化されることを期待して、マイクロマシン実現に資する技術的なプラットフォームづくりを目指しました。

　本プロジェクトについては、我が国の産学官が力を結集してマイクロマシン分野の技術基盤を確立し、その後の関連産業発展に大いに貢献したと高く評価されています。