【定　義】　電気的エネルギー又は非力学的運動エネルギーを力学的運動エネルギーに変換して，機械的仕事を行う機械要素。(JIS/2016)

【解　説】　マイクロマシンが機械的仕事を行うためには、その基本要素としてマイクロ化されたアクチュエータが不可欠である。 主な例として、シリコンプロセスで作製した静電アクチュエータ、ＰＺＴのような機能性材料を利用した圧電アクチュエータ、ゴム製空気圧アクチュエータ等があるが、その他にも様々なエネルギー変換原理を応用した多くのマイクロアクチュエータが研究開発されている。 しかし、これらのアクチュエータは、小型化するほどエネルギーの変換効率が低下するため、マイクロマシン用の新規アクチュエータとして、生物の運動メカニズム、例えばタンパク分子の変形、細菌の鞭毛運動、筋収縮等を解析し、これらを利用することも研究されている。

【参考資料】 (1)(2)(3)(6)

【関連用語】 静電アクチュエータ､ 圧電アクチュエータ､ ゴム製空気圧アクチュエータ