エッチストップ【えっちすとっぷ：etch stop】

【定　義】　非常に低いエッチング速度の層を形成することによってマイクロマシニングで使用されているエッチングプロセスを停止させる技術。(JIS/2016)

【解　説】　エッチングプロセスを停止させる層として定義されることもある。マイクロマシニングで使用されているエッチング停止方法には，ドーパントエッチストップ及び電気化学的エッチストップの二つの基本タイプがある。(JIS/2016)

【参考資料】

【関連用語】