【定　義】　高密度エネルギービームを用いて微細な形状を加工する技術。

【解　説】　微細加工に用いられる高密度エネルギービームとしては、レーザビーム、電子ビーム、イオンビーム（代表的な例として集束イオンビーム：ＦＩＢ）、分子・原子ビーム等があげられる。 レーザ光による微細加工は、微細パターンマスクを通した方法や、微小径のレーザ光を用いた方法により行われる。 マスクを使用する場合にはマスクの精度やレンズの収差により、集光レーザ光の場合にはレーザ光の波長とレンズの焦点距離により加工の微細度が決まる。 また、イオンビーム加工は、尖鋭部分の仕上げ加工に用いられる。

【参考資料】 (8)

【関連用語】