【定　義】　微小な変位の制御。

【解　説】　マイクロメカニカルシステムにおいて、対象システム自体または対象物を駆動するために、アクチュエータを用いて微小変位の制御を行う。 微小変位の制御に使用されるアクチュエータとしては、静電アクチュエータ、圧電アクチュエータ、形状記憶合金アクチュエータ、磁性流体アクチュエータ、ゴム製空気圧アクチュエータ等が開発されている。 圧電アクチュエータを用いた微小変位制御機構として、走査トンネル顕微鏡用アクチュエータ、偏光制御デバイス等の製作例がある。

【参考資料】 (4)

【関連用語】 静電アクチュエータ､ 圧電アクチュエータ､ 形状記憶合金アクチュエータ､ 磁性流体アクチュエータ､ ゴム製空気圧アクチュエータ