微小片持ちはり(梁) 【びしょうかたもちはり:microcantilever】 

【定 義】 微細加工によって作られた片持ちはり(梁)。

【解 説】 微小片持ちはりは,原子間力顕微鏡(AFM)のような高解像度プローブ顕微鏡に多用される。

【参考資料】

【関連用語】