【定　義】　材料表面の物理的，化学的及び生化学的な特性を改変させる加工技術。（JIS/2016)

【解　説】表面改質処理は，電子用途向けのドーピング，機械及び／又は化学用途向けの材料堆積，生化学用途のための分子修飾などを含む。（JIS/2016)

【参考資料】

【関連用語】